번인을 목적으로 제작된 항온조. 고온에서만 사용할 목적으로 된 것은 번인오븐이라고도 한다. 또, ECL 등의 고발열디바이스의 번인을 목적으로 제작된 번인챔버를 고풍속번인챔버라고 한다.
반/디 용어집사공정에싱
스트로브 - strobe
양․불량을 판정할 때, 시간적인 위치를 정하는 값.
반/디 용어집기본․공통사공정
쓰기오류 지우기오류 - write fail erase fail
비휘발성 반도체메모리(플래시메모리 등)에 있어서, 쓰기 또는 지우기를 실행한 후, 에러의 회수가 허용 에러회수를 넘는 것.
반/디 용어집사공정에싱
슬루비율 슬루레잇 - slew rate
피측정디바이스의 입력에 대한 출력응답특성을 출력파형의 기울기로 표현하는 것. 일반적으로 아날로그 디바이스의 경우는, V/μs로 표시한다.
반/디 용어집기본․공통사공정
빔직경 - beam diameter
리던던트메모리 리페어 시스템에 있어서, 사용하는 레이저 광속(光束)이 가공하려는 지점을 비추는 직경.
반/디 용어집사공정레이저리페어 장치
스캔기능 - scanning function
여러 개의 피측정디바이스 단자 중에서 측정하고 싶은 단자를 순차적으로 선택하는 기능.
반/디 용어집기본․공통사공정
번인래크 - burn - in rack
번인보드를 번인챔버 안의 수납하여, 전기적인 접속을 가능하도록 하는 래크.
반/디 용어집사공정에싱
불량해석 메모리 - failure analysis memory
기능검사에 의한 불량정보를 테스트사이클마다 저장하는 메모리. 즉, 불량해석메모리의 일부를 디바이스의 불량셀 어드레스를 저장하는 메모리를 AFM(address failure memory)라고 하고, 디바이스에 불량이 발생할 때 패턴발생기가 발생한 각종 패턴을 저장하는 메모리를 DFM(data failure memory)라고 한다.
반/디 용어집기본․공통사공정
불량비트맵 - fail bit map
메모리소자의 불량해석방법의 하나. 불량 셀의 위치(어드레스)를 시각적으로 확인할 수 있도록 도시하는 방법 또는 도시된 지도.