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오프액시스 정렬 - off - axis alignment

노광위치와 다른 위치로 정렬한 광학계를 배치하여, X방향, Y방향, θ방향의 위치정합을 행하는 방법. 쓰루풋이 높다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
이중원격 중심렌즈 - double telecentric - ity lens

입사광의 초점과 반사광의 초점이 모두 무한히 먼 곳에 위치하는 광학계로써, 모두 주광선은 물체공간 및 상공간에도 광축에 평행하게 되어, 물체면과 상면 사이에 생기는 오차와 배율오차가 주는 영향을 작게하는 렌즈계.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
웨이퍼 표면검사 - wafer surface inspection

거울면(패터닝 전) 웨이퍼표면의 결함의 크기와 형상, 또는 표면계질(表面界質) 등의 검사.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
웨이퍼정렬 - wafer alignment

웨이퍼를 미동(微動)조정하는 정렬, 또는 장치에 고정된 기준으로 웨이퍼를 위치정합하는 것.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
웨이퍼 이물검사 - inspection of dust particle on wafer

웨이퍼 표면에 부착된 이물의 크기․모양의 검사.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
옵셋제어 - offset control

정렬, 초점조정(focus) 등의 옵셋 조절.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
온액시스 정렬 - on - axis

노광위치와 동일한 위치에서 실시하는 정렬. 쓰루풋이 오프액시스정렬에 비해 낮다. 이 정렬방법은, 오프액시스정렬의 오차를 제거하는 데 이용된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
일괄식 X선 노광장치 - X - ray full wafer aligner

한 번의 노광으로 웨이퍼 1장을 처리하는 X선 노광장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
웨이퍼틸트 웨이퍼 레벨링 - wafer tilting wafer leveling

노광할 때에 명료한(sharp) 상을 얻는 평면을 결상면(結像面)이라고 부르고, 이 투영렌즈의 결상면과 웨이퍼 윗면을 평행하게 하기 위한 기능. 이것의 한 예로 다음과 같다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광

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자주 찾는 용어

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마찰계수 - friction coefficient

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프란틀 수 - Prandtl number

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온액시스 정렬 - on - axis

일괄식 X선 노광장치 - X - ray full wafer aligner

웨이퍼틸트 웨이퍼 레벨링 - wafer tilting wafer leveling

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