흡착고정되지 않은 상태의 웨이퍼에서 지정된 뒷면기준면에 의한 웨이퍼 중심면의 거리의 최대값과 최소값의 차이.
반/디 용어집검사웨이퍼제공정
유전위결정 - normal single crystal
주기성이 거의 결정전체에 걸쳐 유지되는 단결정. 그러나 결정내부에는 격자결함을 갖고 있으며, 에치 피트에서 10～106개/㎠ 정도의 전위가 있는 결정을 말한다.
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와전류법 - eddy current method Foucault current method
무접촉으로 저항률을 측정하는 방법. 여진 코일로 검출하는 방법에 있어서, 공심코일을 이용한 경우의 판상시료의 시트도전률 와, 와전류 검출전압의 관계는 다음 식으로 주어진다. C630 여기에서 는 여기주파수, , 은 코일권수, 은 여진코일에 흐르는 전류, 은 계수, 는 코일반경이다.
반/디 용어집물성검사장치검사
열자극전류법 TSC - thermally stimulated current method
온도가 올라가는 것면서 트랩된 캐리어가 방출되어 발생하는 접합전류를 검출하는 방법.
반/디 용어집물성검사장치검사
오리엔테이션플랫 - orientation flat
결정방위와 전도형의 판별 및 위치 정하기를 용이하게 하기 위해 잉곳 및 웨이퍼의 둘레에 어느 한 곳을 직선으로 한 면. 주(主)오리엔테이션 플랫과 부(副)오리엔테이션 플랫이 있다.
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이차이온질량분석법 SIMS - secondary ion mass spectro - scopy
수 keV～20keV 범위의 에너지를 갖는 일차이온을 시료표면의 미소한 점에 충돌시켜, 표면물질을 스퍼터이온화하여, 질량분석로 분석하는 방법.
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윤활면 - slip plane
결정에서 병진과 쌍정(twin)의 미끄럼이 일어나는 격자면.
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오제 전자출련전위분광법 - Auger electron apperance spectro - scopy
비춰주는 빛의 에너지를 변화시켜, 오제(Auger)전자가 발생하는 문턱전압(threshold voltage)를 측정하는 방법.
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원자간 인력 현미경 - atomic force microscope
접근하는 두 개의 물체간에는, 인력과 척력이 작용하는 현상을 이용하여, 가는 탐침을 시료에 근접시켜 기계적으로 주사하면서, 이것들의 힘을 검출하여, 시료표면의 원자분자레벨의 굴곡을 화상으로 보여주는 현미경.
