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약품용기 - chemical container

전자공업용약품을 반도체제조공장으로 납입할 때에 사용되는 운반용용기. 같은 용기를 반복하여 사용하는 링크방식과, 매번 새로운 용기를 사용하는 원웨이방식이 있으며, 일반적으로는 전자가 많다. 재질로써는, 용재계약품에는 유리와 스텐인레스동, 산․알칼리계약품으로는 폴리에틸렌, PFA, PTFE(폴리테트라플로로에틸렌) 등이 사용되고 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
상호측정기능 시이얼측정기능 - multiplex test function

두 대 이상의 테스트헤드가 디바이스를 측정하는 것.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
변형조명 경사입사조명 - modified illumination oblique incidence illumination

광노광장치에 있어서, 광학계의 광축 위에 없는 개구를 넣어, 레티클의 노광광속(光束)을 비스듬하게 입사시키는 조명법. 레티클에 의해 회전한 0차광과 +1차 혹은 -1차만으로 노광하는 것으로, 해상도와 DOF를 향상시킨다. 개구 형상에 의해 고리형 조명, 4중극조명 등으로 부른다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
스탬퍼 - stamper

리드프레임의 다이패드부분을 주위보다 한 단계 움푹 들어가게 하는 기구부. 프레스가공에 의해, 다이패드 서포트(support)부를 소성변형시킨다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
양면(兩面) 노광장치 - double sided aligner

기판의 양면에 노광하기 위해 패턴을 정렬하여 노광하는 노광장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
신터링 소결(燒結) - sinter

오믹 콘택트(ohmic contant)를 얻기 위해 하는 열처리. Al 전극에 이용되는 것이 많다. 400～500。C의 불활성가스 및 수소가스 분위기 중에서 십～수십 분 동안 열처리한다.

반/디 용어집 어닐장치 웨이퍼처리공정
모아레 토포그래피 - Moire topography

두 개의 가는 격자가 중복될 때에 발생하는 물결무늬(모아레무늬)를 이용하여 물체표면을 등고선으로 표시하는 방법.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
미러렌즈 투영노광 장치 - mirror - lens projection aligner

투영광학계가 반사 및 굴절계로 구성되어 있는 노광장치. 등배의 투영광학계를 이용한 미러렌즈등배 투영노광장치, 축소투영광학계를 이용한 미러렌즈축소 투영노광장치가 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
셀프바이어스 양극전압강하 - self bias

고주파에 의해 방전하는 경우, 전자와 이온의 이동도가 크게 다를 때, 결합콘덴서에 걸리는 전계에 의해, 고주파전극표면에 발생되는 전극전압강하. 보통 라로 표시한다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

유동박리 - flow separation

CFL수 - Courant - Friedrichs...

약품용기 - chemical container

상호측정기능 시이얼측정기능 - multiplex test function

변형조명 경사입사조명 - modified illumination oblique incidence illumination

스탬퍼 - stamper

양면(兩面) 노광장치 - double sided aligner

신터링 소결(燒結) - sinter

모아레 토포그래피 - Moire topography

미러렌즈 투영노광 장치 - mirror - lens projection aligner

셀프바이어스 양극전압강하 - self bias

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