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측정하려는 물체를 진공 등으로 홀더와 치구에 고정시키는 것/고정되지 않는 것.

두 개의 가는 격자가 중복될 때에 발생하는 물결무늬(모아레무늬)를 이용하여 물체표면을 등고선으로 표시하는 방법.

측정하려는 물체 표면에 대해 빛을 수직으로 투사하여, 이 반사광과 기준면에서의 반사광으로 형성된 간섭무늬에 의해, 표면의 평탄도를 측정하는 방법.

초음파를 음원(音源)으로 하고, 표면에서 반사되어 나오는 시간을 검출하여, 물체의 두께․ 평탄도를 측정하는 방식.

측정하려는 물체와 센서전극간의 정전용량의 변화량을 검출하여, 이 물체의 두께, 평탄도, 휨를 측정하는 방법.

레이저빔, 적외선빔 등을 사용하여, 측정하려는 물체의 반사광을 수광소자로 검출하여 반사광의 양의 차, 또 반사광의 이동량을 검출하여 두께, 평탄도, 휨을 측정하는 방법.

측정하려는 물체 표면에 대해 프리즘 등을 사용하여 빛을 비스듬하게 투사하여, 이 반사광과 기준(reference)면에서의 반사광으로 형성된 간섭무늬에 의해, 표면의 평탄도(flatness), 휨를 측정하는 방법.