기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

양면폴리싱기 - double side polishing machine

4-way의 운동기구를 갖고, 웨이퍼를 캐리어 안에 배치된 구멍에 배열한 윗정반에 다수배열된 슬러리 구멍으로 슬러리를 양면을 도잇에 거울면으로 하는 장치. 위아래정반은 평면으로 화학적으로 침투되지 않는 연마포를 부착한 것을 사용한다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱
EEM폴리싱 - elastic emmision machining

미립자를 가공물 표면에 충돌시켜, 원자 단위에서 가공물표면을 미소하게 탄성파괴시키면서 제거하는 방법. 가공단위로써는 10㎚이하.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱
플라즈마박막화법 - plasma assisted controlled thinning method

Si 웨이퍼와 석영유리 등의 각종 재료로 초고정밀도의 평탄도를 요구하는 얇은 판을 가공하는 방법으로써, 표면상태를 측정하면서, 국부적으로 플라즈마로 식각하여 고정밀도로 가공하는 방법.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱
플로트폴리싱 - float polishing

가공수조 속에 연마액을, 가공물표면이 보이지 않을 정도로 넣고 홈을 만들어 정반과 가공물을 고속회전시키면, 두 개 사이에 넣어진 연마액의 동압유체윤활에 의해, 가공물이 정반과 닿지 않고 떠 있는 상태에서 연마하는 방법.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱
마운트장치 웨이퍼부착기 - mouting machine mount station

웨이퍼에 왁스를 바르고, 이 웨이퍼를 글래스와 세라믹제 마운트판에 부착하는 장치. 카세트를 세팅하면 전자동으로 마운트판에 부착되는 것도 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱
매엽식폴리싱기 - automatic single wafer polishing machine

왁스리스(waxless) 연마기에 웨이퍼를 한 장씩 진공흡착 등으로 지지하여, 연마하는 장치. 카세트 투 카세트(cassette to cassette)의 자동기기.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱
단면폴리싱기 - single side polishing machine

마운트판이라 불리우는 원판에 웨이퍼를 고정시키고 연마포를 부착한 회전정반에 압착시켜 연마하는 장치. 호칭으로서 연마정반의 직경을 인치로 표시하는 것과 마운트판의 직경을 표시하는 것이 있다.

반/디 용어집 단면폴리싱기 웨이퍼제공정
디마운트장치 - demounting machine demount station

연마가 끝난 후 세라믹과 글래스 블레이드에 왁스로 부착된 웨이퍼를 얇은 칼 등으로 떼어내, 컨베어와 워터슈터(water chuter)로 카세트에 자동적으로 넣는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 디마운트장치

기술용어통 처음으로

TAGS : 폴리싱장치

양면폴리싱기 - double side polishing machine

EEM폴리싱 - elastic emmision machining

플라즈마박막화법 - plasma assisted controlled thinning method

플로트폴리싱 - float polishing

마운트장치 웨이퍼부착기 - mouting machine mount station

매엽식폴리싱기 - automatic single wafer polishing machine

단면폴리싱기 - single side polishing machine

디마운트장치 - demounting machine demount station

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!