기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

예비정렬 - pre - alignment

오리엔테이션 플랫(orientation flat)또는 노치(notch)를 일정한 방향으로 맞추어 주는 것.

반/디 용어집 기계가공 면가공장치-가공장치
연삭웨이퍼두께 - actual wafer thickness

연삭할 웨이퍼의 실제 두께. 면가공할 때, 상면과 하면에서 연삭폭을 다르게 하기 위해, 웨이퍼 한 장마다 실제의 두께를 정확하게 알 필요가 있다.

반/디 용어집 기계가공 면가공장치-가공장치
베벨 - bevel

웨이퍼의 바깥둘레 등에 면가공연삭을 실시하는 것.

반/디 용어집 기계가공 면가공장치-가공장치
상면/하면 연삭폭 - upper/lower surface grinding width

웨이퍼 외주의 면을 연삭한 부분의 폭. 다음 공정 이후, 상면과 하면의 연삭량이 다르기 때문에, 상면과 하면에서 연삭폭이 다르다.

반/디 용어집 기계가공 면가공장치-가공장치
회전마크 코인마크 - revolution mark coin mark

숫돌의 진동 등에 의해, 연삭되는 면에 생기는 볏짚모양의 흠

반/디 용어집 기계가공 면가공장치-가공장치
정밀연삭 - fine grinding

선택된 면을 이단연삭할 때의 끝마무리 연삭. 보통은 거친 연마보다 입자가 가는 숫돌을 사용한다.

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거친 연삭 - coarse grinding

선택된 면을 거친 연삭와 정밀연삭을 할 경우, 거친 숫돌로 연삭하는 것을 말한다.

반/디 용어집 기계가공 coarse grinding

기술용어통 처음으로

TAGS : 면가공장치-가공장치

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더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!