기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

유전위화 - first dislocation generation

현재 반도체기판에 사용하는 Si 단결정은 전부 무전위결정이다. 결정성장중에 무엇인가의 원인에 의해 전위가 발생하고 무전위성장이 멈출 수도 있다. 이 현상을 유전위화라 한다. 관용구로 DFNG, DF단절, DF붕괴등으로도 불리운다.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
융해잠열 - heat of fusion

정온정압하에 1㏖ 또는 단위중량의 고체가 그 녹는점에서 액체로 변할 때의 엔탈피의 증가량.

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용융점 융점 - melting point

금속이 액화하는 온도. 순금속이나 공정합금은 그 온도는 일정하나 일반적합금은 어떤 대역의 온도범위를 갖는 것이 많다.

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용융체 멜트 - melt

열에 의해 고체에서 액체로 변한 상태.

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시드 종자결정 - seed crystal seed

어떤 결정방위를 가진 큰 단결정을 성장시킬 때 종자로 사용되는 단결정. 종자결정은 양질의 결정을 써서, 결정방위를 정확하게 정하여 가공하고, 기계적인 상처나 왜곡(비틀어짐)이 없도록 충분히 화학적 식각을 한 깨끗한 표면을 만들어 사용한다.

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바디 - body

실제 사용되는 일정한 직경이 있는 영역. 일정한 직경의 결정을 성장시키고 있으므로 직동부(直胴部)라고도 한다. 현재는 직경을 검출하여 자동제어계에서 연속적으로 치수조정하고 있다.

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편석 - segregation

용융액으로 응고할 때, 최초에 분출한 고체와 나중에 분출한 고체의 구성이 다르기 때문에 어떤 성분이, 이 응고된 고체의 어느 한 부분으로 치우치는 현상.

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숄더 어깨 - shoulder

대시넥에서 무전위화된 결정을 천천히 직경을 확대시키는 영역으로써, 소정의 직경까지 결정의 직경을 넓혀는 부분.

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파셋 - facet

무전위결정을 용융액으로 성장시킬 때, 고액계면에서 결정체에 발생하는 래프트면.

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TAGS : 결정성장

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