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감압법
감압법 - reduced pressure method
결정성장용기 안에 불활성가스를 흘리면서 가스배출 쪽으로 진공펌프로 감압시키고, 결정성장할 때의 반응생성물을 배출하여 청정분위기를 만들어 내기 위해, 감압 중에 가속시킨 불활성가스를 통과시켜 냉각효과를 높이는 방법.
반/디 용어집
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