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황산과산화 수소세정 피라냐세정 - sulfuric acid - hydrogen peroxide cleaning pirahna cleaning
기술용어통 반디통 용어집
진한 황산용액에 과산화수소를 0.25～1용 혼합한 액(Sulfuric acid Hydrogen Peroxide Mixture 줄여서 SPM액)을 130。C 내외로 가열하여, 레지스트 박리와 유기성 얼룩을 제거, 또는 표면금속불순물 제거하는 세정.
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