외관검사 - visual inspection

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크의 패턴 결함과, 패턴의 모양, 유리표면의 흠, 오염, 얼룩 등을 검사하는 것의 총칭. 미세한 검사는 자동화되어 있으나, 거시적인 검사는 투광기, 슬릿램프(slit lamp) 등으로 경사광(傾斜光) 조명을 하는 육안 검사가 행해지고 있다.