진공증착 장치 - vacuum evaporation system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

10-2pa 보다 낮은 압력의 진공장치 안에 증발원(蒸發源)과, 그 주위에 웨이퍼를 놓고, 증발원을 가열하여 재료(금속, 화합물 등)를 진공 중에서 증발시키는 장치. 증발원자(혹은 분자)는 증발원에서 직진하여 기판면에 퇴적한다.