언더컷 측방식각 - undercut side etching

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

식각마스크 재료의 끝부분보다 측면방향의 식각되는 재료의 식각이 진행되어, 식각되는 재료의 패턴폭이, 식각마스크 폭보다 감소된 상태. 용액의 식각과 라디칼(radical)의 플라즈마 식각에 현저하게 보인다. 미세패턴의 형성에는, 언더컷을 작게하는 것이 중요한 기술이다.