기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

터보 분자 펌프 - turbo molecular pump

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
터빈 모양의 날개를 가진 고속회전 로터를 회전시켜, 날개에 충돌하는 기체 분자에 운동량을 주어 기체를 운송하는 기체운송방식 진공펌프. 분자가 흐르도록 해야하는 곳에서 유용하게 사용된다.