전반산형광X선분석법 TXRF TRXRF - total reflection X - ray fluorescence analysis

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

실리콘웨이퍼와 같은 평탄한 시료를 얕은 각도에서 X선을 입사시켜, 시료표면 위에 전반사 되도록하여, 시료표면의 원자만을 여기시켜, 시료표면의 불순물을 분석하는 방법.