막두께제어 - thickness control

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

막 성장 공정 중에 막 두께 및 증착속도를 막두께측정기(수정발진식, 원자흡광식(吸光式), 광학식 등)에 의해 모니터링하여, 증착속도를 일정하게 유지하고, 원하는 막 두께가 되도록 제어하는 것.