기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
열이력 (熱履歷) - thermal budget
Written by
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
공정 중에 웨이퍼가 받는 총열량. 받는 열의 온도와 열을 받은 시간과 관계가 있다.
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