기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

표면파 플라즈마 - surface wave plasma

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
플라즈마의 표면에 유기된 표면파에 의해 주로 생성되는 플라즈마. 전형적으로는 유리관을 따라 생성된 길이가 긴 플라즈마. 최근에는 대면적플라즈마의 생성에 표면파 플라즈마를 적용하려는 시도도 있다. 또, 유전체선로로 전파되는 표면파의 누설 전기장에 의해 생성되는 플라즈파를 표면파 플라즈마라고 부르는 것도 있다.