스핀 컵 - spin cup

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

스핀도포기에 있어서, 레지스트 도포 중에 웨이퍼를 둘러싸기 위해 설치된 원통모양의 용기. 도포 중의 배기와 레지스트의 반동을 고려하여 설계하고 있다. 스핀developer와 같은 모양의 컵이 설계되고 있다.