고체증발원 - solid vaporizer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온을 발생시킬 때, 이온원에 편입되어 이용되는 고체시료용 증발원. 시료는 히터에 의해 진공 중에서 수백。C로 가열되어, 증기로 된 플라즈마가 생성될 때에 도입된다. 주로 안전성의 관점에서 독성가스를 대신하여 사용되는 경우가 많다.