소프트 베이킹 프리베이킹 - soft - bake pre - bake

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼 위에 레지스트를 도포한 후, 도포막 속의 잔류용제를 증발시키고, 도포막과 웨이퍼의 밀착성을 강화하기 위해 실시하는 열처리. 노광 전에 실시하기 때문에, 폴리머가 중합되거나 첨가물의 열분해가 일어나지 않는 온도 이하에서 실시한다.