단면폴리싱기 - single side polishing machine

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마운트판이라 불리우는 원판에 웨이퍼를 고정시키고 연마포를 부착한 회전정반에 압착시켜 연마하는 장치. 호칭으로서 연마정반의 직경을 인치로 표시하는 것과 마운트판의 직경을 표시하는 것이 있다.