시프터 - shifter

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

위상 시프트 마스크(PSM)에 있어서, 빛의 파장을 변화시켜 위상차를 발생시키는 물질. SOG, SiO2 등이 이용된다. 시프터 막의 두께d는 d=λ/2 (n-1) [λ:빛의 파장, n:시프터의 굴절률]일 경우에 위상은 180̊반전된다.