스캔빔전류 - scanned beam current

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

이온빔을 스캔하여 주입하는 경우의 빔전류량. 스캔할 경우, 이온빔은 이온주입장치의 마스크로 인해 제한되는 웨이퍼영역만 도달하므로, 스폿 모양으로 조사(照射)하는 것보다 적은 전류량이 된다.