러더퍼드후광산란분광법 RBS - Rutherford back - scattering method

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

MeV 영역의 높은 에너지이온을 시료표면에 조사하고 후광산란된 이온의 에너지스펙트럼을 측정하여, 표면에서의 깊이의 함수로써 여러 가지 원소의 농도를 결정하는 방법.