회전주입 - rotational implanter

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼가 면의 중심을 축으로 하여 회전하면서 이온을 주입하는 것. 이온주입 중에 웨이퍼가 회전하지 않고, 이온을 일정량 주입한 후, 웨이퍼가 일정각도를 회전한 후 다시 이온주입을 계속하는 것을 스텝회전주입이라고 한다.