기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
고주파 플라즈마 CVD장치 - RF plasma enhanced CVD system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
저압상태에서, 반응성가스의 고주파 글로우방전분해에 의해 박막을 형성하는 CVD장치. 반응실의 외측이나 내측에 설치된 대향전극 사이에 고주파를 걸어 플라즈마를 발생시키는 용량결합형 플라즈마CVD장치와, 석영반응관의 외측에 감긴 코일에 고주파전압을 걸어 플라즈마를 발생시키는 유도결합형 플라즈마CVD장치가 있다.
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