반사율 - reflectance reflectivity

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

입사광 강도에 대한 반사광 강도의 비율. 스테퍼 전사(轉寫)시에 마스크 면에서의 반사광인 미광(迷光, stray light)이 전사된 패턴에 영향을 미치는 것을 막기 위해, 전사광의 파장(g선, i선 등)에 대해 각각 반사율이 낮은 저반사 코팅(coat)층을 구비한 구조(2층, 3층)의 마스크가 이용되고 있다.

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