기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

재생웨이퍼 - reclaim wafer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
반도체소자제조공정에 투입되었으나, 도중에 불량판정을 받거나 테스트에 사용된 웨이퍼를 다시 웨이퍼가공공정으로 흘려, 표면의 소자가 형성된 부분을 제거하고, 다시 거울면에 재생시킨 웨이퍼. 주로 테스트피스(test piece)로써 재이용된다.