반응실 성장실 리액터 - reaction chamber deposition chamber reactor

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

CVD장치, 에피택셜 성장장치에 있어서 박막을 형성하는 곳. 웨이퍼, 웨이퍼홀더, 서셉터 등을 수납하고, 특히 고순도의 석영으로 만들어진 관 모양의 것은 반응관이라고 부른다.