근접효과 - proximity effect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

전자빔이 기판을 형성하는 물질 안에서 산란할 때, 현상 후의 레지스트 패턴 형상이 왜곡되는 현상. 일반적으로, 패턴 간극을 좁게 하면, 이 효과가 더욱더 현저하게 나타나므로, 이런 이름이 붙었다.