폴리마이드 도포 - polymide coating

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

보호막, 층간절연막을 형성하기 위해 폴리마이드막을 도포하는 것. 폴리마이드는 점도가 높고(1000～2000 cp), 용제로는 휘발성이 낮은 NMP를 사용하고 있다. 도포한 후, 용제가 휘발시키기 위한 베이킹과 막을 굳게하는 베이킹(400。C)을 실시한다.