기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
플라즈마 CVD장치 - plasma enhanced CVD system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
저압 상태에서, 반응성가스의 플라즈마 방전분해에 의해 박막을 성장하는 CVD장치의 총칭. 열CVD법과 달리, 비교적 저온에서 CVD반응이 이루어지는 것이 특징. 플라즈마 발생에너지를, 주로 주파수에 의해 분류하여, 고주파플라즈마, 마이크로파플라즈마, ECR플라즈마 등의 각종 장치가 있다.
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