플라즈마 애싱 장치 - plasma ashing system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

반응성가스의 플라즈마를 발생시켜, 이 플라즈마를 이용하여 레지스트를 제거하는 장치. 보통, 산소 플라즈마가 사용된다.