기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'
광여기(勵 起)애싱장치 - photo excited ashing system
작성자:
MidasIT 반디통
| 2021. 8. 5 오후 3:00:00
애싱실 안에 반응성가스를 도입하여, 자외선 등의 빛을 가스 또는 웨이퍼로 조사하여, 반응성가스와 레지스트와의 화학반응을 촉진시키면서 애싱하는 장치.
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