노광묘화장치 - pattern exposure system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

가시광선과 적외선 또는 전자빔을 이용해, 마스크 블랭크 위에 원화패턴을 묘화하는 장치인데, 패턴 제너레이터․콘택트 프린터․포토리미터․전자빔 묘화장치․레이저 묘화장치 등이 있다.