중복정밀도 - overlay accuracy registration accuracy

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

기판 위에 패턴을 형성하여, 다음 공정에서 다시 패턴을 형성할 때, 앞의 기판과의 상대적인 위치정밀도. 전(全)패턴형성공정을 종료한 기판에 있어서, 패턴 사이의 상대적인 위치정밀도는, 중복정밀도에 대응하여, 토탈중복정밀도라고 한다.