오리엔테이션플랫 정렬기 - orientation flat aligner flat orienter

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

플래틴에 웨이퍼를 탑재할 때, 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫 또는 노치(notch)를 원하는 위치에 정렬하는 기기. 이 기기로 인해 이온주입할 때의 트위스트각을 결정하고, 웨이퍼틸트와 함께 이온이 웨이퍼로 입사하는 입사각을 결정한다.