마운트판 탑플레이트 블록 캐리어플레이트 - mount plate top plate block carrier plate

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

웨이퍼를 부착하기 위한 원판. 화학적으로 침투되지 않는 재질로 경년변화(aging, 시간이 지나면서 변하는 것), 하중에 대한 변화가 작은 것이 사용된다.(예, 세라믹스와 유리 등)