미러렌즈 투영노광 장치 - mirror - lens projection aligner

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

투영광학계가 반사 및 굴절계로 구성되어 있는 노광장치. 등배의 투영광학계를 이용한 미러렌즈등배 투영노광장치, 축소투영광학계를 이용한 미러렌즈축소 투영노광장치가 있다.