마이크로로딩 효과 RIE 락 - microload - ing effect

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

차기의 구경 또는 트렌치가 축소되어 원래 식각속도가 저하되는 현상. 많은 경우 ‘마이크로로딩 효과’와 ‘RIE 락’은 동의어로 사용되지만, 같은 크기의 패턴이 서로 다른 밀도로 존재할 때에 식각속도가 다른 현상을 마이크로로딩 효과라고 부르는 것도 있다.