MCL - metal contamination level

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

실리콘 웨이퍼의 표면금속오염양을 표시하는 단위의 하나로, 실리콘 웨이퍼의 단위면적당 존재하는 금속불순물의 원자수로 나타낸다.(1MCL=1010atoms/㎠) 또, 표면금속오염량의 개념을 표시하는 용어로써 사용되는 것도 있다.