매칭기기 매칭박스 매칭네트워크 - matching unit(box) matching network

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

플라즈마 상태의 변화와 함께, 방전 중의 임피던스가 변동하므로, 튜닝회로를 설계하여, 인가된 고주파출력에 대하여 반사파가 가장 작아지도록 인피던스를 조정하는 기기. 고주파전극의 근방에 배치된다.