마스크이물 검사장치 - mask contamination inspection system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

빛의 투과 또는 산란, 반사 등을 이용하여 마스크 위의 이물과 흠, 결함 등을 검사하는 장치. 대상시료에 따라, 레티클 이물검사장치라고도 한다. 또, 패터닝 전의 마스크 시료와 패터닝 후의 시료에 의해 장치가 다른 경우도 있다.