액체봉지쵸크랄스키법 가압쵸크랄스키법 - liquid encapsulat - ion Czochralski method high pressure Czochralski method

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

봉지제(B2O3, NaCl 등)를 결정소재와 함께 도가니에 충전하고, 결정성장 분위기(ambient)에 불활성, 가스를 도입시켜 넣고 압력을 가하여, 화합물반도체 등의 용융점에서의 높은 증기압(해리압)을 갖는 반도체물질이 증발해 날라가는 것을 막으면서 결정을 끌어올리는 방법.

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