리프트오프법 - lift off method

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크의 백결함을 수정하는 수단으로써, 레지스트를 도포하고, 스폿 모양의 자외선으로 수정부분을 조사하고, 현상하여 레지스트를 제거한 후에 크롬 등의 차광막을 증착하여, 레지스트와 함께 비수정부분의 크롬을 제거하는 방법