기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

거울면웨이퍼표면검사장치 LSM표면검사장치 - laser surface scanner light scattering measurement system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
웨이퍼 표면에 레이저 등의 빛을 조사하여, 웨이퍼 표면의 이물과 미립자의 크기, 밀도분포 등을 측정하는 장치. 특히 표면에서 500㎚정도의 깊이까지 존재하는 결정결함의 측정도 가능한 장치를 LSM표면검사장치라 한다.