레이저 묘화장치 - laser lithography system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

마스크 또는 웨이퍼 위에 레이저광․라스터 스캔방식을 이용하여 패턴을 묘화하는 장치.