레이저 균일방사기 - laser homogenizer

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00

엑시머 레이저 등 가우시안 분포를 하는 빔프로필을 전범위에 걸쳐 균일한 빔 강도로 분포하게 하는 광착장치. 광학 줌(zoom)식에 의해 대형 균일빔을 얻을 수 있어, 레이저 어닐장치 등에 장착되어 있다.