기술용어통 : CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

클러스터․이온빔 증착장치 - ionized cluster beam evaporation system

작성자: MidasIT 반디통 | 2021. 8. 5 오후 3:00:00
고진공 중에서, 10-2~10-3개의 원자가 모인 클러스터를 이온화하고, 가속시켜 웨이퍼에 충돌․퇴적시키는 장치. 증발원은 클러스터증발원인데, 증발셀(cell)의 증기배출구를 작은 노즐로 만들어 셀의 안과 밖의 압력차를 크게 하여 분출시킨다. 이 때, 증기가 단열팽창하는 과정에서 클러스터가 생성된다. 열전자방출 필라멘트와 양극(陽極)을 이용한 전자충격으로 클러스터를 이온화한다.